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常规的分子泵有哪些以及参数数值?

2019-12-28

常规的分子泵有哪些以及参数数值?

(1)低真空泵
泵的极限压力高于102Pa的真空泵归于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

(2)中真空泵
极限压力在102~-10-1Pa的真空泵归于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

(3)高真空泵
极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵归于高真空泵。常见的高真空泵有各种松懈泵及分子泵等。

(4)超高真空泵
极限压力低于10-5Pa的真空泵归于超高真空泵。超高真空泵首要有各种离子泵、低温泵等。

02 按作业原理和结构特征分类

(1)机械式容积真空泵

靠机械运动使泵腔作业容积周期改变来结束抽气效果的是机核式容积真空泵。归于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包含旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外,一般均可独自运用。

(2)射流式真空泵

没有机械运动部件,首要靠经过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。归于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种松懈泵等。这类泵结构简略,作业牢靠,寿数长,易于修补,运用比较广泛。
03

各类真空泵的作业压力规划及特征  PART 2/真空泵的选择
01
根据和条件

分子泵.jpg


(1)系统对真空度的要求

根据系统对真空度的要求,选择相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。

(2)系统正常作业时的压力规划

要求泵正常作业的压力规划有必要满足系统所要求的作业压力。

(3)被抽气体品种、成分、杂质情况及系统作业时对污染的捆绑要求

被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不光与作业时泵的功用有关,并且直接与泵的作业寿数及检修维护情况有关,特别是在化工生产中,它往往是正确选泵的一个关键因素。

(4)系统被抽气量或体积流量
它是选择选择某一类型真空泵的首要根据。

02
真空泵的选择及抽速核算

(1)核算真空泵的有用抽速S (L/s)。

根据真空系统要求的作业压力pg、真空系统的总气体量Q,核算泵的有用抽速 S=Q/pg

式中,Q为真空系统的总气体量,Pa. L/s,包含真空系统作业过程中发生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。
一般将按此式核算出的有用抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

(2)招认真空泵的抽速。
根据有用抽速S以及泵与真空室之间的联接管道的流导U招认主泵的抽速Sp。由流导串联公式有  1/S=1/Sp +1/U

(3)根据被抽气体品种、成分、温度以及气体含尘土杂质情况选真空泵 。

(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求必定无油或作业液、或对作业液贮存和处理费用比较关心等场合。

(5)根据出资及日常维护作业的经济指标来选择。
03  前级泵的配备及抽速招认
主真空泵选定之后,怎样配备前级泵,需遵照的原则是:

① 求前级泵构成主真空泵作业所需的预真空条件;  ② 抽走主真空泵发生的最大气体量;  ③ 有必要满足主真空泵进气口能作业的最大压力时所需的预抽时间要求。

不同的主真空泵,其前级泵配备各异,分述如下。

(1)蒸汽流泵前级配备

此类泵包含油松懈泵、油松懈喷射泵以及增扩泵等。在主泵容许的最大排气口压力下,前级泵需将主泵发生的最大气体量及时抽走,即前级泵的有用抽速有必要满足:
Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn
式中,Sq——前级泵的有用抽速,L/s,和选择高真空泵相同,先由Sq来招认前级泵的抽速,然后再根据该抽速选定泵型;
pn ——主泵前级的临界前级压力,Pa;
Qmax ——所能排出的最大气体量,Pa .L/s;
pg ——主泵容许的最高作业压力,Pa;
S——主泵作业在pg时的有用抽速,L/s。

在选择前级泵时,应该留心机械泵的抽速是在大气压力下测得的,但正常运用的泵都是在低于大气压的条件下作业,使泵的抽速下降了,因而我们有必要根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线,可参阅经历公式

Sp =(1.5~3) S’p
式中,Sp——实践选用的前级泵的抽速;
S’p——核算要求的前级泵抽速。

(2)罗茨泵配备油封机械泵
罗茨泵前级配备油封机械泵时,前级泵的抽速由经历公式招认,即

Sp=(1/3~1/8)SL
式中,Sp——前级泵的抽速,L/s;

SL——罗茨泵的抽速,L/s。
式中,系数选择,一般抽速大的罗获泵取小值,抽速小的选大值

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