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89、磁控靶表面的磁场强度是多少?

2019-02-15

答:水平磁场的强度约300-500GS。电子在靶表面做旋轮线运动,其旋轮半径,磁场的大小应使r大小落在靶表面的阴极位降范围,才能使电子的电离作用得到最大的发挥。因为阴极位降区是放电能够维持的主要电离区域。


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