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83、什么是二极溅射?其工艺参数如何?

2019-02-15

答:作为阴极的靶材与阳极(壳体)之间形成的气体放电,放电产生的离子流轰击靶材产生溅射,溅射粒子沉积与在阳极同电位或处于悬浮电位中的基片上,此为二级溅射。其典型工艺参数:工作气压10Pa,溅射电压3000V,靶电流密度0.5mA/cm2,薄膜沉积速率低于


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