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79、沉积速率与压力关系如何?

2019-02-15

答:一般随着放电的压力增高,离子流增大,溅射速率增加,从而沉积速率亦会增大,但放电压力过高,由于背散射增加,溅射粒子易于返回靶的表面,并且压力过高时,平均自由程短,电子碰撞电离的几率下降,所以又会出现沉积速率下降的趋势。故总的来说,随着放电压力的增大,沉积速率先增大,当达到一最大值时又开始下降。

 


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