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77、溅射粒子角分布(方向分布)如何?

2019-02-15

答:与蒸发粒子的余弦分布不同,溅射粒子的出射方向遵从欠余弦分布,即按分布(n<1),如入射粒子的能量越小,欠余弦分布越明显。


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