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(十五)真空镀膜设备抽气机组最佳配置的讨论

2018-12-05

真空镀膜设备抽气机组最佳配置的讨论

                                     龚建华           储继国

不同种类、不同规格的真空镀膜设备配置的真空机组应该互不相同,这是理所当然的。比如大型蒸发镀膜,3m3真空室配置KT800扩散泵机组;5m3真空室配置KT1000扩散泵机组等。而对于磁控溅射镀膜,真空室有0.5m3 、1.0m3、1.5m3 、2.0m3等不同的大小,分别配置抽速逐步递增的扩散泵机组或涡轮分子泵机组,这似乎成为一种规律,形成一种共识。然而相同种类、相同规格的真空镀膜设备却配置不同的真空机组;或不同规格的真空镀膜设备配置的真空机组倒掛,即规格大的配置的抽速小,而规格小的配置的抽速大,就耐人寻味了。例如1.5m3的镀膜设备有配置2台?400的涡轮分子泵机组,亦有配置3台的。有1 .0m3的配置2台?400涡轮分子泵机组,而大于2.0m3却配置4台?200(1200l/s)的涡轮分子泵机组。可以说这种差异很大,反差很大的现象在行业里普遍存在。当然仁者见仁,智者见智,无论是生产设备的或是使用设备的可能都有自己的考虑和根据。



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